光源 半內(nèi)腔氦氖激光器： 中心波長632.8nm，多模、增益管長260mm（活動諧振腔為全反射，即激光由固定諧振腔發(fā)出），帶布魯斯特窗，可變腔長。 F-P共焦球面掃描干涉儀組件 F-P共焦球面掃描干涉儀：精細常數(shù)＞120，自由光譜區(qū)2.48GHz,反射中心波長632.8nm； STG-1鋸齒波發(fā)生器：線性小于＜10%，鋸齒波電壓范圍0～150V，偏置電壓0～150V可調(diào)，頻率0～100Hz可調(diào)。 光學(xué)組件 諧振腔反射鏡：Φ19mm，曲率半徑：0.5m，1m，2m 偏 振 片：通光口徑Φ25.4mm，帶框，@400～700mm，消光比>400:1，透過率大于40%（2片） 高斯光束變換透鏡：φ36mm ，f=-60mm、100mm、150mm 探測器組件 光電接收器：帶寬1MHz，一級信號放大，與鋸齒波發(fā)生器連接，含調(diào)整架、滑座。 激光功率指示儀：波長633nm，測量范圍20mW，最高顯示分辨率0.01mW，接收面積10×10mm；含滑座及支桿 CMOS數(shù)字相機：黑白，分辨率1280X1024，量化深度10bit，像素尺寸：5.2um，USB2.0接口，鏡頭接口C接口。 機械/調(diào)整組件 調(diào)整架：偏振片架、二維調(diào)整架、干涉儀調(diào)整架、相機光闌 調(diào)節(jié)板 精密光學(xué)導(dǎo)軌：尺寸1000*80mm專用硬鋁合金型材，帶刻度，分辨精度1mm，配套滑座 其他附件 可調(diào)氦氖激光器電源、Q9信號線、光電接收器信號線 數(shù)據(jù)軟件 光斑分析程序?qū)Ｓ密浖MOS相機采集軟件 | 
