SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。
先進的鏡筒設(shè)計，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計，實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。
電子槍類型 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
加速電壓 0.1 kV ~ 30 kV
分辨率 1 nm @ 15 kV 2.5 nm @ 1 kV
樣品臺 五軸全自動樣品臺
放大倍率 1 ~ 1,000,000 x
產(chǎn)品特點
分辨率高，低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像
高壓隧道技術(shù) (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力
電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動切換光闌孔，無需機械調(diào)節(jié)，實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品參數(shù)
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 1.0?nm @ 15 kV |
| 2.5 nm @ 1 kV |
| 放大倍率 | 1 x～1,000,000 x |
| 加速電壓 | 0.1 kV～30 kV |
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 |
| 磁場屏蔽 | 被動式磁屏蔽 |
| 主動式磁屏蔽（選配） |
| 成像系統(tǒng) | 探測器 | 鏡筒內(nèi)高角度電子探測器 |
| 側(cè)向二次電子探測器 |
| 擴展 | 背散射電子探測器 |
| 能譜儀（EDS） |
| 背散射衍射（EBSD） |
| 電子束感生電流（EBIC） |
| 陰極熒光（CL） |
| 圖像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG |
| 樣品室 | 真空控制方式 | 全自動控制，無油真空系統(tǒng) |
| 攝像頭 | 雙攝像頭 |
| （光學(xué)導(dǎo)航 + 樣品倉內(nèi)監(jiān)控） |
| 樣品臺配置 | 五軸全自動樣品臺 |
| 行程 | X: 130 mm |
| Y: 105 mm |
| Z: 40 mm（大行程可選配） |
| R: 360° |
| T: -10°～ +90° |
| 減震 | 主副減震支架 |
| 雙氣室隔膜式減震器 |
| 主動式減震器（選配） |
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows |
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
