| 主要規(guī)格參數(shù) |
| | 型號 | 研發(fā)型 | 中試型 | 量產(chǎn)型 | | SVAC-Sub30 | SVAC-Sub60 | SVAC-Sub100 | SVAC-Sub200 | SVAC-Sub300 | | 管徑(直徑) | 30mm | 60mm | 100mm | 200mm | 300mm | | 最大裝載量 | 20g | 50g | 250g | 3Kg | 8Kg | | 加熱溫區(qū) | 6-8區(qū)(可定制) | | 控溫系統(tǒng) | 上下獨立控溫,盡快溫控器,升華和收集區(qū)額外增加多個測溫熱電偶測試溫度均勻性 | | 最高溫度 | 600℃ | | 控溫精度 | ±1℃ | | 加熱元件 | KTL (康泰爾)鐵絡(luò)鋁電阻絲 | | 真空系統(tǒng) | 進口磁懸浮分子泵、機械泵、進口真空計 | | 極限真空度 | 優(yōu)于5x10-7Torr空載) | | 電氣控制 | PLC(自動/半自動/手動操作) | | 過濾系統(tǒng) | 專利冷阱過濾系統(tǒng)(無液氨、冷媒等介質(zhì)),溫度-120℃ | | 冷卻方式 | 風冷 | | 報警系統(tǒng) | 水、電、氣真空等出現(xiàn)異常時報警提示 |
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