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產(chǎn)品詳情
SVAC-FilmLab-C 束線多腔鍍膜設(shè)備
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SVAC-FilmLab-C 束線多腔鍍膜設(shè)備

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產(chǎn)品詳情
真空系統(tǒng)配置：分子泵、機(jī)械泵、插板閥。
最大樣品尺寸：：6-8英寸硅片、一次放置10片。
靶：8寸以下圓形平面。
機(jī)械手自動(dòng)上下基片。
真空退火，最高溫度1600℃。
全自動(dòng)化操作（PLC）。
真空腔室尺寸：定制。
極限真空：小于5×10-5Pa。
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